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플라즈몬 나노 구조체 제조를 위한 나노팁 인덴테이션 리소그래피 및 이에 의해 제조된 플라즈몬 나노 구조체

연구자
김현우 박사
작성일
2022-07-14 14:57:36.0
분류
정보·전자 소재 > 디스플레이 > 광학 필터
응용분야
광센서
적용제품
센서
첨부파일
2022-01호 유망기술소개자료집(요소기술별) 94.pdf [641.3 KB] 미리보기
본 발명의 나노팁 인덴테이션 리소그래피 기술은 원자력 현미경 팁을 가지고 폴리머 층에 마스크 패턴을 압입 가공함으로써, 형상, 크기 및 방향에서 높은 균일성을 나타내며, 다양한 모양의 현미경 팁을 선택함으로써 선택적으로 플라즈몬 나노 구조체를 제조할 수 있어 주문형 제조 능력을 가능하게 하는 기술임