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4족 전이금속 화합물, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막증착용 조성물

연구자
정택모 박사
작성일
2021-12-28 16:36:19.0
분류
정보·전자 소재 > 반도체 > 박막 소재
응용분야
전자 소자 박막 증착
적용제품
전자 소자 박막 증착
첨부파일
2021년-02차 KRICT SMK_부분 135.pdf [916.1 KB] 미리보기
휘발성이 우수하고 열적으로 안정하여, 이를 전구체로 이용하여 고밀도 및 고순도의 4족 전이금속함유 박막을 제조할 수 있는 4족 전이금속 화합물
메뉴담당자 담당부서 : 기술사업화실 담당자 : 김종철 연락처 : 042-860-7080
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