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기술지원

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연구자

권순일 박사

작성일

2021-08-02 16:25:13.0

분류

환경·안전 관리 > 불화가스 처리 > 분해 공정

응용분야

전기산업, 반도체 제조 공정 등

적용제품

불화가스 혼합물 분해 장치

첨부파일

2021년-01차 KRICT SMK_부분 53.pdf [537.5 KB] 미리보기

본 발명은 고농도의 육불화황(SF6)의 분해 및 후처리 시스템에 관한 것으로 육불화황(SF6) 의 정제과정 중 소모되는 에너지를
절감하고 정제과정에 소모되는 시간을 단축하는 육불화황(SF6) 정제 시스템 및 육불화황(SF6) 정제 방법에 대한 기술임

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