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포토레지스트 정제용 나노급 기공을 형성한 멤브레인

연구자
김인철 박사
작성일
2021-04-08 10:55:58.0
분류
환경·안전 관리 > 수처리 > 분리막
응용분야
정보 · 전자, 환경 · 안전
적용제품
포토레지스트 용액 정제, 액정 디스플레이, 반도체 등
첨부파일
2020-02 KRICT SMK_부분178.pdf [827.7 KB] 미리보기
나노급 기공을 형성하여 포토레지스트 용액의 불순물을 제거할 수 있고 소수성 지지층 표면을
친수화 시킬 수 있는 멤브레인 제조 기술