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폴리실라잔 화합물을 포함하는 박막 트랜지스터 게이트 절연막 및 이를 포함하는 박막 트랜지스터

연구자
이창진 박사
작성일
2021-04-07 16:13:09.0
분류
정보·전자 소재 > 디스플레이 > 박막 트랜지스터
응용분야
정보 · 전자
적용제품
커패시터, 박막 트랜지스터 등
첨부파일
2020-02 KRICT SMK_부분122.pdf [1,089 KB] 미리보기
폴리실라잔 화합물을 포함하는 박막 트랜지스터용 유전체 조성물을 제조함으로서, 저온 소결공정으로 높은 유전상수 및 정전용량의 구현이 가능하며, 우수한 전기적 특성을 가지고 저전압 구동이 되는 박막 트랜지스터의 절연막 제조 기술
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