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미세한 패터닝이 가능한 감광성 수지 조성물

연구자
김진수 박사
작성일
2021-04-07 15:27:30.0
분류
정보·전자 소재 > 반도체 > 패터닝 소재
응용분야
정보 · 전자
적용제품
반도체 절연막, 블랙매트릭스, 포토레지스트 등
첨부파일
2020-02 KRICT SMK_부분115.pdf [1,052.3 KB] 미리보기
반도체 후공정 절연막용 네가티브형 감광성 폴리아믹산 유도체 제조 기술
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