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기술지원

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연구자

허규용 박사

작성일

2021-04-07 15:24:36.0

분류

정보·전자 소재 > 반도체 > 박막 소재

응용분야

정보 · 전자

적용제품

반도체, 디스플레이, 센서, 전자소자 등

첨부파일

2020-02 KRICT SMK_부분113.pdf [755.5 KB] 미리보기

반도체 및 디스플레이 박막 공정에 사용되는 액상전구체의 물성 진단 및 수명 예측이 가능한 시스템으로, 박막의 물리적 특성을 좌우하는 전구체의 상태가 최적을 유지할 수 있도록 하는 기술

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