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실시간 점도 측정을 이용한 화학 증착 공정용 전구체 열화 진단 시스템

연구자
허규용 박사
작성일
2021-04-07 15:23:17.0
분류
정보·전자 소재 > 반도체 > 박막 소재
응용분야
정보 · 전자
적용제품
반도체 소자, 디스플레이 등
첨부파일
2020-02 KRICT SMK_부분112.pdf [781.1 KB] 미리보기
화학 증착 공정에 있어서 캐니스터 내부에 수용된 전구체의 점도를 실시간으로 측정하여 전구체의 열화 정도를 진단 하기 위한 시스템 기술
메뉴담당자 담당부서 : 기술사업화실 담당자 : 김종철 연락처 : 042-860-7080
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