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전이금속 전구체, 이를 포함하는 액상 조성물 및 전이금속 칼코게나이드 박막의 제조방법

연구자
임종선 박사
작성일
2021-04-07 15:21:35.0
분류
정보·전자 소재 > 반도체 > 박막 소재
응용분야
정보 · 전자
적용제품
광 센서, 박막 트랜지스터 등
첨부파일
2020-02 KRICT SMK_부분111.pdf [787.6 KB] 미리보기
신규한 전이금속 전구체를 이용함으로써, 열적 안정성이 우수하고 저온 열분해 공정에서도 균일한 결정립을 형성하고 안정적인 결정 구조를 형성함으로써, 고품질의 균일한 전이금속 칼코게나이드 박막을 제조하는 기술
메뉴담당자 담당부서 : 기술사업화실 담당자 : 김종철 연락처 : 042-860-7080
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