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신규의 주석 아미노알콕사이드 화합물 및 그 제조 방법

연구자
정택모 박사
작성일
2021-04-07 15:19:41.0
분류
정보·전자 소재 > 반도체 > 박막 소재
응용분야
정보 · 전자
적용제품
반도체, 슈퍼 커페시터, 트랜지스터, 접합소자 등
첨부파일
2020-02 KRICT SMK_부분110.pdf [674.5 KB] 미리보기
주석 아미노 알콕사이드 화합물을 제조함으로서, 열적 안정성과 휘발성이 개선되고 낮은 온도에서도 쉽게 주석 및 주석 산화물, 그리고 주석을 포함하는 물질 제조 가능한 기술
메뉴담당자 담당부서 : 기술사업화실 담당자 : 김종철 연락처 : 042-860-7080
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